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AST-MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

苏州艾视特光学仪器有限公司

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产品详情

AST-MX12R 半导体 FPD 检查显微镜2.jpg

产品描述:

新的MX12R半导体 \FPD 检查显微镜,最大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

详细参数:

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100
目镜高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版
物镜无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X
无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X
转换器明暗场六孔电动转换器,带 DIC 插槽
机架组反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm,微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
载物台右手位 14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm
带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用)
电动平台面积 495mmX641mm,移动范围 :306mmX306mm ;软件控制 X、Y 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台
照明系统明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像附件

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦
其他起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组 ;高精度测微尺 ;DIC 组件


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